產(chǎn)品詳情
系統(tǒng)采用直線電機執(zhí)行器和空氣彈簧進行主動隔振,適用于精密儀器設(shè)備的隔振,可將影響儀器設(shè)備正常工作的安裝場地的細微振動,在所有頻率范圍內(nèi)予以全面衰 減而不降低儀器設(shè)備本身具有的各項性能。它可以抑制振動干擾,使ORION NanoFab保持高分辨率。
技術(shù)規(guī)格
商品 描述
尺寸 1300(W)×1600(D)×182(H,放氣位置)mm
重量 1100Kg
隔離機制(1) 6活動自由度
隔離機構(gòu)(2) 直線電機執(zhí)行器的主動隔離
所需氣壓 0.6MPa及以上
負載重量(最大) 2000Kg(均勻負載)
電源 100-240VAC
電源頻率 50 / 60Hz
功耗(最大) 380W
隔離起始頻率 0.5Hz
應(yīng)用實例